◆使用视觉和影像处理进行平边Alignment

◆使用Tray和Coin Box装载,可以对应SECS/GEM

◆传送物料包括海绵垫片、光盘盘、Tray、晶图等。

◆读取Barcode: Cassette-Barcode Reader 晶圆-OCR

◆无尘等级： 100级

◆UPH>500, (含海绵垫片、Tray+晶图、间格片)