光芯片贴片机
型号:CYG-DBM3/7
设备概述

适用半导体芯片如功率半导体、传感器、存储芯片、激光芯片、光芯片贴装工艺,通过Wafer或者Tray入料的芯片或者隔离器等元件借由视觉精定位,在通过粘胶或者点胶或者共晶方式实现键合


设备特点

支持粘胶、点胶和共晶工艺

兼容6寸/8寸晶圆提篮供料,不同芯片与物料可自动更换吸嘴与顶针

可实现贴片精度≦+/-3um


技术参数
项目 规格描述
产品尺寸 0.2*0.2mm~10*10mm
工装轨道宽度 支持10~100mm范围可调
CT <15s/pcs (视每个元件类型贴装时间会有差异)环氧,无在线 UV 元件
贴装精度 ±3μm @CPK>1.33
共晶台 加热温度Max500℃,支持氮气腔体防氧化
吸嘴可更换数量 12组
蘸胶精度 D±10%
力控 20-250g,F±10%
入料方式 支持Tray、编带、Wafer入料、Magazine
选配功能 支持选配点胶系统、Tape&Reel入料
软件系统 支持Mapping、SECS/GEM等功能